Παρά τα πλεονεκτήματά τους, η ενσωμάτωση αερίων λέιζερ excimer συνοδεύεται από ορισμένες εγγενείς τεχνικές προκλήσεις που απαιτούν προσεκτικούς μηχανικούς ελέγχους και μέτρα ασφαλείας:
Τοξικότητα – Τα αντιδραστικά αλογονωμένα αέρια όπως το φθόριο και το χλώριο έχουν οξείες τοξικότητες που απαιτούν συστήματα χειρισμού αερίων και πλυντρίδες.
- Διαβρωτικότητα –Μείγματα αερίων διέγερσηςείναι εξαιρετικά διαβρωτικά για κοινά μέταλλα και υλικά που απαιτούν εξειδικευμένο εξοπλισμό.
- Αντιδραστικότητα – Οι παράπλευρες αντιδράσεις μπορούν να παράγουν εκρηκτικά, τοξικά ή διαβρωτικά υποπροϊόντα που πρέπει να αποτρέπονται.
- Μικρή διάρκεια ζωής – Τα παροδικά μόρια excimer αποσυντίθενται ταχέως περιορίζοντας τη διάρκεια του παλμού λέιζερ.
- Εξάντληση – Άτομα ευγενών αερίων και μόρια αλογόνου καταναλώνονται κατά τη λειτουργία, απαιτώντας σφραγισμένα συστήματα αναπλήρωσης.
- Κρυογονική – Η διατήρηση αερίων σε κρυογονικές θερμοκρασίες απαιτεί πολύπλοκο και δαπανηρό εξοπλισμό ψύξης.
- Οξείδωση – Οι ακαθαρσίες όπως οι υδρατμοί ή το οξυγόνο πρέπει να διατηρούνται κάτω από τα μέρη ανά εκατομμύριο για να αποφευχθεί η απώλεια απόδοσης.
- Κόστος – Τα καθαρά ευγενή αέρια και τα αλογονωμένα αέρια, μαζί με τον εξοπλισμό ακριβείας, έχουν ως αποτέλεσμα υψηλό κόστος.
Με επαγγελματίαΣύμφωνα με τα πρωτόκολλα ασφαλείας, την ανακύκλωση αερίων και τους προηγμένους μηχανικούς ελέγχους, οι κίνδυνοι και οι δυσκολίες των αερίων excimer laser μπορούν να μετριαστούν για να αξιοποιηθούν πλήρως οι μοναδικές και πολύτιμες δυνατότητες λέιζερ υπεριώδους ακτινοβολίας.
Ώρα δημοσίευσης: 08 Σεπτεμβρίου 2023